
顯影液濃度:
目前業(yè)界常用的顯影液是以無水碳酸鈉加純水配制而成,濃度一般為1-2%(質(zhì)量比),但為了細線路的制作,緩和反應(yīng)速度,降低Under-cut,現(xiàn)在顯影液的濃度多控制在1.0%±0.2%。較高蝕刻藥液濃度可允許較高干膜負荷量,但不容易清洗干凈,且操作范圍較小;反之,過低的藥液濃度所能承受的干膜負荷量較小。因此,正確的蝕刻顯影液藥液濃度應(yīng)與干膜廠商研究,依照其干膜特性來配制。而蝕刻藥液濃度的檢驗可利用酸堿滴定來分析。重點是:為維持槽液濃度的穩(wěn)定性,確保顯影品質(zhì),必須設(shè)置自動添加,一般以偵控槽液的PH值作自動添加,或計片、計面積添加。
顯影液溫度:
顯影液溫度是影響顯影速度的最大變數(shù),一般都控制在30±2攝氏度,需依干膜種類而定,由于操作時蝕刻藥液因泵浦的壓縮作用產(chǎn)生大量的熱能會促使溫度升高,致使有顯影過度的可能,因此顯影槽需加裝冷卻水管來保持適當(dāng)?shù)臏囟?;而溫度過低時,又可能造成顯影不潔,因此需加裝加熱器使溫度能達到操作范圍,而得到最佳的顯影效果。
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