
蝕刻片加工是一種精密的金屬薄片減材制造工藝。它利用化學腐蝕液有選擇性地溶解金屬,從而在金屬片上形成極其復雜、精細的圖案、孔洞或三維結構。以下是關于蝕刻片加工的詳細介紹:
一、蝕刻片加工流程:
1.設計與工程:
使用CAD軟件設計蝕刻片加工的精確零件圖紙,包含所有細節(jié)、公差、蝕刻深度要求。
2.材料準備:
-選擇合適的金屬材料卷材或板材,常見材料包括:
-材料表面需清潔無油污、氧化層。
3.涂布光刻膠:
-在清潔的金屬表面均勻涂覆一層對紫外線敏感的光刻膠(液態(tài)或干膜)。干膜應用更廣泛,通過熱壓輥層壓到金屬表面。
4.曝光:
-將制作好的光掩模緊密貼合在涂有光刻膠的金屬板上。
-使用紫外光(UV)曝光機進行曝光。
5.顯影:
-將曝光后的金屬板浸入顯影液中。
-顯影后,金屬表面形成了精確的光刻膠保護圖案。
6.蝕刻:
-將顯影后的金屬板浸入特定的化學蝕刻液(酸性或堿性,取決于金屬種類)中。
蝕刻液會溶解掉未被光刻膠保護的裸露金屬區(qū)域。
7.退膠/剝離:
-蝕刻完成后,使用化學溶劑或專用退膜機去除金屬表面的光刻膠保護層。
8.清洗與干燥:
-徹底清洗金屬板,去除所有殘留的蝕刻液、光刻膠碎片和化學溶劑。
-采用去離子水漂洗和高潔凈度干燥(如熱風干燥、離心干燥)防止水漬和二次污染。
9.后處理:
-表面處理:根據需求進行,如:
-電鍍:鍍金、鍍銀、鍍鎳、鍍錫等。
-鈍化:(尤其不銹鋼)提高耐腐蝕性。
10.檢測與品控:
-尺寸測量:使用光學影像測量儀投影儀、激光掃描等檢測蝕刻片關鍵尺寸、孔位、線寬線距、公差是否符合圖紙要求。
-外觀檢查:目視或AOI檢查蝕刻缺陷(如過蝕、欠蝕、毛刺、殘膠、劃傷等)。
二、蝕刻片加工的核心優(yōu)勢:
1.高精度與復雜度:可加工極其精細復雜的圖案、銳利邊緣、任意形狀,無機械應力變形。
2.無毛刺、無熱影響區(qū):化學溶解過程不產生機械毛刺,不改變材料金相結構和物理性能。
3.薄材加工能力強:蝕刻片加工是加工超薄金屬片(<0.1mm)最經濟有效且不變形的方法。
4.批量生產效率高:可同時蝕刻多片甚至整板材料,成本隨批量增加顯著降低。
5.材料適應性廣:可處理多種金屬及合金,尤其擅長硬質、脆性或難加工材料。
6.設計更改靈活:修改設計只需更換光掩模,成本相對較低,速度快。
7.可實現半蝕刻:精確控制局部區(qū)域的蝕刻深度,形成臺階、凹槽、減薄區(qū)等,增加設計自由度。
三、蝕刻片加工典型工業(yè)應用:
1.電子與半導體:引線框架、連接器端子、屏蔽罩、散熱片等。
2.過濾與分離:精密濾網、噴嘴板、分餾塔盤。
3.醫(yī)療器械:手術器械零件(刀片、鑷子)、植入物組件、診斷設備篩網/電極、微流控芯片部件。
4.航空航天:渦輪發(fā)動機葉片氣膜冷卻孔板、傳感器網格、輕量化結構件、通風格柵。
5.汽車工業(yè):EGR冷卻器板片、燃油噴射器濾網/擋板、傳感器部件、銘牌/標牌、裝飾格柵。
6.精密儀器:編碼器盤、光柵、彈簧墊片、微電機零件、光學器件支架。
7.消費品:精密裝飾件(表盤、首飾)、名牌、揚聲器網罩、剃須刀網罩、廚具濾籃。
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